测量环境中的臭氧浓度,检测工作环境臭氧是否超标,臭氧浓度高于一定值时是有毒和腐蚀性气体。是监测气体发生设备、气柜、气体输送系统以及半导体设备的臭氧浓度的理想选择。
量程:0-0.1ppm,0-10ppm,0-100ppm或0-1000ppm可选 取样点数量:1,3或5个内置式多通道阀 精度等级:5ppb(0-1ppm量程),0.01ppm(0-10ppm量程),0.1ppm(0-100ppm量程),1ppm(0-1000ppm) 分辨率高:0.001ppm(0-1ppm),0.01ppm(0-10ppm) CE认证 内部自检 RS-232通讯接口 可选4-20mA输出
● 传感器:智能型传感器 ● 应用:高浓度气相臭氧测量 ● 原理:声学法(专利) ● 测量单位:质量百分比(W%W) ● 测量范围:0-20%重量 ● 测量精度:±0.5%的臭氧质量比 ● 采样流量:0.2-10 SLPM ● 采样压力:-15~35 psig ● 1/4"接口 ● LCD显示臭氧浓度和气流率 ● 模拟输出:4-20mA,0.2VDC