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● 半导体工业净化间的理想检测仪器
● 理想的低浓度气体检测仪（PPb级）
● 抗干扰性强
● 使用插入式盒纸带，更换方便
● 盒式纸带剩余量显示
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| 类 型 |
台式，可移动 |
| 检测原理 |
使用盒式纸带的光电光度法原理 |
| 检测纸带 |
盒式纸带、VHS型快速更换型纸带 |
| 电源/能耗 |
AC100V，AC115V，AC220V，50/60Hz(检测状态耗能为35VA，纸带卷动时耗能60VA) |
| 尺寸/重量 |
85（W）×190（H）×40（D）mm,500g |
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检测气体 |
TLV值 |
检测范围 |
分辨率 |
磷烷（PH3） |
300ppb |
0-900ppb |
5 |
硅烷（SiH4） |
5ppm |
0-15ppm |
0.25 |
乙硼烷（B2H6） |
100ppb |
0-300ppb |
5 |
砷烷（AsH3） |
50ppb |
0-150ppb |
1 |
乙硅烷（Si2H6） |
5ppm |
0-10ppm |
0.1 |
硫化氢（H2S） |
10ppm |
0-100ppb |
1 |
碌气（CL2） |
0.5ppm |
0-100ppb |
1 |
硒化氢（H2Se） |
50ppb |
0-300ppb |
2 |
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| 检测原理 |
光电光度测量法 |
| 检测纸带 |
插入式盒式纸带 |
| 检测气体范围 |
NH3 |
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0.5-4ppm |
CL2 |
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0-0.8pm(*) |
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0-1.5ppm |
AsH3 |
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0-150ppb |
B2H6 |
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0-300ppb |
HCI |
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0.25-1ppm |
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1.5-8ppm |
HF |
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0-9ppm |
H2S |
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0-10ppm |
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00-100ppm |
PH3 |
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0-500ppb(*) |
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0-900ppb |
SiH4 |
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0-8ppm |
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0-15ppm |
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精 度
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显示值的±20%+1 以内 |
| 检测带使用时间 |
1个月（无报警） |
| 报 警 点 |
第1和第2报警 |
| 自我诊断功能 |
传感器故障，流量低，检测带故障
检测带耗尽警告，检测带安装错误 |
| 外部输出 |
4-20mA（****回路电阻为300Ω） |
| 电 源 |
AC110，110，117，220V 或 DC24V，
订购时需指其中一种 |
| 工作温度/湿度 |
5-35℃，30~+90% RH （无凝结） |
| 尺寸·重量 |
164（W）×198（H）×263（D）mm,台式 6.5kg
164（W）×164（H）×261（D）mm,盘装式5.5kg
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● 微处理器控制
● 内置采样泵
● 带背景的LCD显示
● 结构紧凑，重量轻
● 声光报警
● 即时显示峰值和平均值
● 记录器输出信号（0-1V线形）
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| 检测原理 |
电化学原理 |
| 检测气体/范围 |
见检测气体表 |
| 浓度显示 |
连续测量值，平均值和峰值显示 |
| 控制功能 |
微处理器控制 |
| 显 示 |
点阵LCD显示，带自动照明 |
| 精 度 |
±10% 以内 |
| 反应时间 |
30秒以内（当通入3倍报警点浓度的气体时） |
| 采样方式 |
内置隔膜泵，吸入式采样 |
| 使用温度/湿度 |
-10℃~+40℃，小于90% RH |
| 连续使用时间 |
碱性电池（标准） 约20小时
Ni-Cd充电电池（选购） 约10小时 |
| 尺寸·重量 |
约 200（W）×80（H）×142（D）mm,1.9kg |
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检测气体 |
检测范围 |
报警设定值 |
磷烷（PH3） |
0-1.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
砷烷（AsH3） |
0-1.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
硅烷（SiH4） |
0-15.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
5ppm |
乙硼烷（B2H6） |
0-30.0ppm(1 刻度0.05ppm) |
10ppm |
碌化氢（HCL） |
0-5.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
2ppm |
氟化氢（HF） |
0-9.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
3ppm |
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● 内置微处理器控制
● LCD数字显示
● 自我诊断功能
● 泵吸式采样系统
● 轻便型检测仪
● 峰值保持和平增值显示
● 声 / 光报警
● 数据记录输出
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